詳細(xì)摘要： 一、設(shè)備用途本尾氣處理裝置主要用于擴(kuò)散爐與RIE（反應(yīng)等離子體刻蝕）、PECVD等設(shè)備的工藝廢氣的處理，達(dá)到直接排放大氣達(dá)到環(huán)保與安全排放的目的